超精密三维表面形貌亿博手机客户端下载平台

现代高端机械制造对几何尺寸亿博手机客户端下载精度的要求越来越高,特别是对不加任何预处理的深色、透明、反光的材质的超精密三维非接触扫描亿博手机客户端下载一直是一个难以逾越的难题。FS系列超精密三维表面形貌亿博手机客户端下载平台就是应这个要求而开发的,其显著特征包括:

几乎可对任何特性的表面进行超精密3D亿博手机客户端下载

  • 可完成黑色、透明、反光等表面的非接触三维扫描亿博手机客户端下载
  • ±42.5°大角度亿博手机客户端下载能力,获取更多极限和边缘处数据
  • 亿博手机客户端下载范围小至集成电路,大至手机屏
  • 纳米级分辨率与亿博手机客户端下载精度

  • 垂直分辨率达17
  • 水平分辨率可达1
  • 测头精度达14nm
  • 亿博手机客户端下载效率高、稳定性好

  • 仅需三步设置即可一键开始亿博手机客户端下载,节约时间精力
  • 最高20mm/s扫描速度,通常数分钟之内即可完成亿博手机客户端下载
  • 级大理石隔振设计,隔离1Hz以上环境振动影响
  • XY轴提供 分辨率光栅尺反馈,数据可重复性高
  • 主流微观几何亿博手机客户端下载功能

  • 点、线、面三种亿博手机客户端下载模式,应对从简单到复杂的亿博手机客户端下载任务
  • 2D轮廓亿博手机客户端下载,包含长宽高、角度和台阶高度等十余项
  • 3D形貌亿博手机客户端下载,包含体积、表面积、翘曲度和腐蚀分析等
  • 符合国际ISO25178标准的面粗糙度亿博手机客户端下载分析
  • 软件功能强大、开放接口

  • 一键初始化,动态显示亿博手机客户端下载数据、亿博手机客户端下载进程和设备状态
  • 采样频率、点间距、扫描范围等参数均可调
  • 提供第三方开发接口,方便用户进行二次开发
  • 操作简单易维护

  • 出厂前已完成精度校准,无需在日常使用中进行校准操作
  • 无需对样品倾斜校正,存在较小倾斜角度仍能正常亿博手机客户端下载
  • 受环境振动、光线、温 度等因素影响小
  • 完备的软硬件培训和技术支持服务,及时解决用户问题

  • 说明:实物外观图片仅供参考

    技术参数

    基本参数 FS-Compact FS-100 FS-Premium
    亿博手机客户端下载速度

    20mm/s

    亿博手机客户端下载点间距

    1-100μm

    载物台尺寸
    150x150mm
    200x200mm
    400x400mm
    Z轴升降
    手动
    自动
    自动
    垂直方向行程

    100mm

    水平方向行程
    100x100mm
    120x120mm
    250x250mm
    水平方向定位精度

    1μm/100mm

    Z定点亿博手机客户端下载范围

    1400μm,100-42000μm可选配

    Z轴横向分辨率

    最高1μm

    Z轴轴向分辨率
    17nm (1.7nm可选)
    17nm (1.7nm可选)
    20nm
    Z轴亿博手机客户端下载精度

    150nm (14nm可选)

    采样频率

    100-2000Hz

    设备长宽高
    400x550x600mm
    700x1080x1300mm
    2200x1800x2100mm
    承重
    5kg
    10kg
    20kg
    电源

    100~240VAC, 0.8A, 50-60Hz

    主要功能

    2D轮廓和台阶高度:

  • 长宽高、深度、角度、弧度
  • 间隙和断差、台阶高
  • 平整度
  • 3D轮廓和表面形貌:

  • 三维超精细视图
  • 体积计算
  • 表面积计算
  • 翘曲度亿博手机客户端下载
  • ISO25178标准表面粗糙度:

  • 面粗糙度
  • 线粗糙度
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